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大族激光 - 激光打標(biāo)機|切割機|焊接機|激光器 - 智能制造裝備整體解決方案 語言 大族激光 - 激光打標(biāo)機|切割機|焊接機|激光器 - 智能制造裝備整體解決方案
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全自動激光全切設(shè)備

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產(chǎn)品特點 1、自研多光路系統(tǒng)，兼容多種材質(zhì)晶圓加工；
2、 全新自動涂膠清洗系統(tǒng)，更精準(zhǔn)的控制膠水用量；
3、 多重過濾系統(tǒng)，有效的收集有毒粉塵，保障人員安全；
4、新軟件架構(gòu)，高質(zhì)量的硬件，保障參數(shù)數(shù)據(jù)一致性；
5、 SEMI S2認(rèn)證，設(shè)備符合相關(guān)的SEMI要求標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品應(yīng)用

主要用于半導(dǎo)體行業(yè)VCSEL芯片，BAR條產(chǎn)品的切割制程，兼容砷化鎵、磷化銦、硅晶圓的激光切割。


產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容

技術(shù)參數(shù)

加工材料

砷化鎵GaAs、磷化銦InP、硅Si

可加工產(chǎn)品尺寸

4inch、6 inch、8 inch

可加工產(chǎn)品厚度

50um-200um

定位精度

直線度：±1μm，重復(fù)定位精度：±1μm

激光波長

355nm、1064nm

長×寬×高

(L × W × H)

1140mm×1740mm×1750mm


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